| 随着真空获得技术的发展，真空应用日渐扩大到工业和科学研究的各个方面。真空应用是指利用稀薄气体的物理环境完成某些特定任务。有些是利用这种环境制造产品或设备。这些产品在使用期间始终保持真空；而另一些则仅把真空当作生产中的一个步骤，最后产品在大气环境下使用，如真空镀膜、真空干燥和真空蒸馏等。
爪形干式无油真空泵的应用主要有以下几个方面：
1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2.半导体刻蚀工艺，在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3.除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4.在石化工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染；
6.可以在苛刻的环境下使用；
7.可以直接从大气压起动。
产品参数与型号表
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型号-参数 |
OS-4 |
OS-8 |
OS-30 |
OS-70 |
OS-110 |
OS-150 |
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抽速（单位：L/S） |
4 |
8 |
30 |
70 |
110 |
150 |
|
极限真空（单位：Pa） |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
|
满载功率（单位：Kw） |
0.75 |
1.1 |
3 |
7.5 |
11 |
15 |
|
输入电压（单位：V） |
380 |
380 |
380 |
380 |
380 |
380 |
|
噪音（单位：dB） |
<65 |
<65 |
<72 |
<75 |
<78 |
<80 |
|
冷却水流量（单位：L/H） |
200 |
200 |
350 |
800 |
900 |
1000 |
|
D1（单位：mm） |
70 |
70 |
110 |
165 |
165 |
165 |
|
d1（单位：mm） |
55 |
55 |
90 |
125 |
125 |
125 |
|
DN1（单位：mm） |
25 |
25 |
55 |
100 |
100 |
100 |
|
n1-φm1（单位：mm） |
4-φ6.5 |
4-φ6.5 |
4-φ9 |
6-φ9 |
6-φ9 |
6-φ9 |
|
D2（单位：mm） |
60 |
60 |
90 |
165 |
165 |
165 |
|
d2（单位：mm） |
45 |
45 |
70 |
125 |
125 |
125 |
|
DN2（单位：mm） |
16 |
16 |
32 |
100 |
100 |
100 |
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n2-φm2（单位：mm） |
4-φ6.5 |
4-φ6.5 |
4-φ9 |
6-φ9 |
6-φ9 |
6-φ9 |
【使用范围】
1.化学气相沉积，刻蚀，磁控溅射，离子注入，灰化；
2.液晶显示，等离子体显示，锂电池，有机发光二极管；
3.石油，化工，食品，制药领域的真空蒸馏，蒸发，结晶，干燥，过滤等4.航空航天。
【特 点】
1.结构紧凑，无油无污染；
2.气路短，抗腐蚀，抗粉尘和液体能力强；
3.降低了横波劣震动，噪声低；
4.维护简单，费用低。
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