随着真空获得技术的发展,真空应用日渐扩大到工业和科学研究的各个方面。真空应用是指利用稀薄气体的物理环境完成某些特定任务。有些是利用这种环境制造产品或设备。这些产品在使用期间始终保持真空;而另一些则仅把真空当作生产中的一个步骤,最后产品在大气环境下使用,如真空镀膜、真空干燥和真空蒸馏等。
爪形干式无油真空泵的应用主要有以下几个方面: 1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中; 2.半导体刻蚀工艺,在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒; 3.除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求; 4.在石化工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵; 5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染; 6.可以在苛刻的环境下使用; 7.可以直接从大气压起动。
产品参数与型号表
型号-参数 |
OS-4 |
OS-8 |
OS-30 |
OS-70 |
OS-110 |
OS-150 |
抽速(单位:L/S) |
4 |
8 |
30 |
70 |
110 |
150 |
极限真空(单位:Pa) |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
3 |
满载功率(单位:Kw) |
0.75 |
1.1 |
3 |
7.5 |
11 |
15 |
输入电压(单位:V) |
380 |
380 |
380 |
380 |
380 |
380 |
噪音(单位:dB) |
<65 |
<65 |
<72 |
<75 |
<78 |
<80 |
冷却水流量(单位:L/H) |
200 |
200 |
350 |
800 |
900 |
1000 |
D1(单位:mm) |
70 |
70 |
110 |
165 |
165 |
165 |
d1(单位:mm) |
55 |
55 |
90 |
125 |
125 |
125 |
DN1(单位:mm) |
25 |
25 |
55 |
100 |
100 |
100 |
n1-φm1(单位:mm) |
4-φ6.5 |
4-φ6.5 |
4-φ9 |
6-φ9 |
6-φ9 |
6-φ9 |
D2(单位:mm) |
60 |
60 |
90 |
165 |
165 |
165 |
d2(单位:mm) |
45 |
45 |
70 |
125 |
125 |
125 |
DN2(单位:mm) |
16 |
16 |
32 |
100 |
100 |
100 |
n2-φm2(单位:mm) |
4-φ6.5 |
4-φ6.5 |
4-φ9 |
6-φ9 |
6-φ9 |
6-φ9 |
【使用范围】 1.化学气相沉积,刻蚀,磁控溅射,离子注入,灰化; 2.液晶显示,等离子体显示,锂电池,有机发光二极管; 3.石油,化工,食品,制药领域的真空蒸馏,蒸发,结晶,干燥,过滤等4.航空航天。 【特 点】 1.结构紧凑,无油无污染; 2.气路短,抗腐蚀,抗粉尘和液体能力强; 3.降低了横波劣震动,噪声低; 4.维护简单,费用低。
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