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      名称:济南欧尚节能设备有限公司
      联系人:徐先生
      手机:13954168066
      电话:0531-88167706
      传真:0531-88167707
      E-mail:13954168066@163.com

      产品展示  
      【干式无油真空泵】
       随着真空获得技术的发展,真空应用日渐扩大到工业和科学研究的各个方面。真空应用是指利用稀薄气体的物理环境完成某些特定任务。有些是利用这种环境制造产品或设备。这些产品在使用期间始终保持真空;而另一些则仅把真空当作生产中的一个步骤,最后产品在大气环境下使用,如真空镀膜、真空干燥和真空蒸馏等。

      爪形干式无油真空泵的应用主要有以下几个方面:
       1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
       2.半导体刻蚀工艺,在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
       3.除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
       4.在石化工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
      5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染;
      6.可以在苛刻的环境下使用;
      7.可以直接从大气压起动。

      产品参数与型号表

       型号-参数

       OS-4

       OS-8

       OS-30

       OS-70

       OS-110

       OS-150

       抽速(单位:L/S)

       4

       8

       30

       70

       110

       150

       极限真空(单位:Pa)

       3

       3

       3

       3

       3

       3

       满载功率(单位:Kw)

       0.75

       1.1

       3

       7.5

       11

       15

      输入电压(单位:V)

       380

       380

       380

       380

       380

       380

       噪音(单位:dB)

       <65

       <65

       <72

       <75

       <78

       <80

      冷却水流量(单位:L/H)

       200

       200

       350

       800

       900

       1000

      D1(单位:mm)

      70

      70

      110

      165

      165

      165

      d1(单位:mm)

      55

      55

      90

      125

      125

      125

      DN1(单位:mm)

      25

      25

      55

      100

      100

      100

       n1-φm1(单位:mm)

      4-φ6.5

      4-φ6.5

      4-φ9

      6-φ9

      6-φ9

      6-φ9

       D2(单位:mm)

      60

      60

      90

      165

      165

      165

       d2(单位:mm)

      45

      45

      70

      125

      125

      125

      DN2(单位:mm)

      16

      16

      32

      100

      100

      100

      n2-φm2(单位:mm)

      4-φ6.5

      4-φ6.5

      4-φ9

      6-φ9

      6-φ9

      6-φ9

      【使用范围】
      1.化学气相沉积,刻蚀,磁控溅射,离子注入,灰化;
      2.液晶显示,等离子体显示,锂电池,有机发光二极管;
      3.石油,化工,食品,制药领域的真空蒸馏,蒸发,结晶,干燥,过滤等4.航空航天。
      【特 点】
      1.结构紧凑,无油无污染;
      2.气路短,抗腐蚀,抗粉尘和液体能力强;
      3.降低了横波劣震动,噪声低;
      4.维护简单,费用低。

      成功应用


      制药工业


      精细化工


      食品饮料


      乳品工业


      暖通空调


      其他领域

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